Vékony kristályhártyák
létrehozásának módszere, ahol a filmképződés pontosan ellenőrizhető. Több különböző elemet hevítenek, s az általuk kibocsátott, atomokból álló sugárnyalábok, áthaladván egy légüres kamrán, egy kristályos hordozóra, az úgynevezett towgetre csapódnak le.
A kristályra épülő, atomok alkotta rétegek sorrendjét a hevítési hőmérsékletek változtatásával és záróablakok rendszerének használatával szabályozzák.